ECE 게임 룰렛 및 의장 Srinivas Tadigadapa는“초고속 이방성 반응성 이온 에칭”에 대한 특허를 받았습니다.
초록 출처 :USPTO
재료의 반응성 이온 에칭 (RIE) 시스템을위한 시스템 및 방법이 제공됩니다. 이 시스템은 혈장 공급원 및 가스 입구를 포함하는 혈장 챔버, 재료 및 가스 확산기를 포함하는 표면을 갖는 기판을지지하기위한 기판 홀더 및 가스 확산기에 결합 된 가스의 공급원을 포함하는 확산 챔버를 포함한다.
관련 게임 룰렛진 :Srinivas Tadigadapa
관련 부서 : 전기 및 컴퓨터 공학
