Damascene 룰렛 전략 제작을위한 개선 된 방법
University Distinguished and William Lincoln Smith 교수 인 Ahmed Busnaina 교수 인 기계 및 산업 공학은“화학 역학적 평면없이 제작 된 나노 리멘트 인쇄를위한 Damascene 룰렛 전략”에 대한 특허를 수상했습니다.
초록 출처 :USPTO
균일 한 표면적을 달성하기 위해 화학적 기계적 연마를 필요로하지 않는 전기 영동 조립 및 패턴 화 된 나노 요소의 전달을위한 다마스센 룰렛 전략을 제조하는 방법이 제공됩니다. 이 방법은 에칭 또는 전도성 층을 구축하여 동일한 높이의 절연 층으로 분리 된 상승 된 전도성 특징을 형성하는 정밀 리소그래피 기술의 조합을 사용하여 전도성 층 제조를 포함한다.
